目前VOCS工業廢氣的處理方法主要有：

　　掩蔽法、稀釋擴散法、熱力燃燒法與催化燃燒法。

　　水吸收法、藥液吸收法、吸附法、洗滌式活性污泥脫臭法。

　　三相多介質催化氧化工藝和低溫等離子體技術等多種方法。